簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "黃柏仁".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="脈衝調變"


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    脈衝高頻電漿輔助化學氣相沉積氫化非晶矽膜作為矽晶鈍化層之研究
    • 化學工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 簡郡輝 指導教授: 洪儒生
    • 本論文主要目的在探討使用矽甲烷為原料的高頻電漿輔助化學氣相沉積輔以不同製程方式來製備氫化非晶矽薄膜於單晶矽晶片上形成異質接合。研究重點在利用高頻電漿並輔以脈衝調變的技術,找出缺陷最少的氫化非晶矽長膜…
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